基金项目

1. 国家重大科研仪器研制项目（自由申请），面向三维微纳光电子器件的冰刻加工系统研制，2020/01-2024/12，负责人：仇旻

2. 国家重点研发计划"纳米科技"重点专项，表面等离激元高效光热转换机理、器件及太阳能热利用，2017/07-2022/06，负责人：仇旻

3. 国家自然科学基金，面向半导体芯片的微型低温制冷系统设计理论及关键技术，2022/01-2025/12，负责人：仇旻

4. 青年项目，51806199 基于三维流道的液氮温区高效芯片级JT制冷机理研究，2019/01-2021/12，负责人：刘东立

5. 青年项目，61905200 基于冰刻纳米金棒可饱和吸收体的飞秒孤子锁模与调控，2020/01-2022/12，负责人：王纪永

6. 青年项目，61905201 基于低维材料的片上皮秒脉冲热电子热辐射机理及器件，2020/01-2022/12，负责人：唐伟伟

7. 青年项目，62005224 基于超表面光栅的高效光纤耦合，2021/01-2023/12，负责人：王宁

8. 青年项目，62005226 基于冰刻技术的钙钛矿纳米线/纳米片光电子器件的设计与制备，2021/01-2023/12，负责人：金斌斌

9. 青年项目，12004313 基于二维半导体与等离激元微腔强耦合的全光神经网络非线性激活函数机理与调控，2021/01-2023/12，负责人：刘峰江

10. 青年项目，12004314 飞秒激光诱导金纳米结构原子非热蒸发机理及应用，2021/01-2023/12，负责人：石理平

11. 特别资助，2020T130602 基于纳米冰膜的电子束光刻制备微纳光学结构研究，2020/07-2021/12，负责人：赵鼎

12. 面上资助，2020M671808 基于冰刻的钙钛矿微纳结构构筑及其光电性能研究，2020/07-2021/12，负责人：金斌斌

13. 面上资助，2020M671809 基于石墨烯/硅异质结的主动式纳秒脉冲中红外热辐射器，2020/07-2021/12，负责人：唐伟伟

14. 面上资助，2020M671810 冰刻直写加工技术及应用研究，2020/07-2021/12，负责人：赵鼎

15. 面上资助，2020M671814 基于三维流道的液氮温区芯片级JT制冷机微型化方法，2020/07-2021/12，负责人：刘东立