近日，仇旻教授科研团队在飞秒激光制备SiC荧光色心领域取得突破，2021级博士生孙潇雨的研究成果“Femtosecond laser-induced CSiVC color centers on the surface of N-doped 4H-SiC”成功被Optics Letters期刊收录。该论文成功利用飞秒激光在氮掺杂4H-SiC表面制备出碳反位-空位（CsiVc）色心，并实现了双色发光微图案的可控制备。这一突破为量子信息技术和高性能光电器件的发展提供了新的材料平台。

研究团队通过精确调控飞秒激光的脉冲能量（5-1000 nJ）和脉冲数量（1-3个），在SiC表面诱导出具有可见光区（675 nm）和近红外区（900 nm）双发射带的色心。低温光致发光测试（1.8 K）清晰观测到CsiVc色心的零声子线（ZPLs）特征峰，证实了其量子发射特性。研究还发现多脉冲处理可促进色心形成，但过量脉冲会导致晶格损伤，揭示了激光参数与色心生成效率的复杂平衡关系。团队进一步演示了空间图案化能力，通过激光扫描制备出西湖大学徽标形发光结构，展示了该技术在集成光子器件和量子光源阵列制备中的潜力。

      此次研究成果的发表，不仅拓展了飞秒激光加工在宽禁带半导体色心制备中的应用边界，还进一步展现了飞秒激光加工技术在未来量子传感、单光子源制备和光电集成器件的开发中的巨大潜力。研究获得国家自然科学基金支持，相关数据已对外开放共享。

文章链接：https://opg.optica.org/ol/fulltext.cfm?uri=ol-50-19-5981&id=577979