近日，仇旻教授团队在微纳制造与生物科学的交叉领域取得重要突破。2022级博士生杨治蓉的研究成果“Patterning on Living Tardigrades”被国际顶级学术期刊Nano Letters正式录用，并被遴选为该杂志当期的封面文章（Supplementary Cover）。该研究首次将半导体制造技术与生物学相结合，证明了电子束光刻的衍生技术：冰刻（Ice lithography）技术，可以用于微小生物体上原位直写微纳米尺度图案。

微/纳米制造技术已深刻变革了现代光子学和电子学。然而，将传统微纳加工技术应用于生物体系仍面临诸多挑战。传统加工方法因其固有局限性，如难保形旋涂、辐射损伤以及有毒溶剂的使用等，往往难以与生物体兼容。

为突破这一瓶颈，研究团队创新性地开发并应用冰刻技术，成功在活体缓步动物（俗称“水熊虫”）表面实现了微/纳米尺度图案的原位制造。该方法主要包括以下关键步骤：首先，在处于隐生状态的水熊虫表面覆盖纳米冰膜；随后，通过电子束曝光，使特定区域的冰膜转化为常温下稳定存在的固体图案；在适宜环境中复苏水熊虫后，其可以携带这些精确制作的图案自由活动。该技术可实现任意图案原位加工，最小尺寸可达72纳米。此外，这些图案在经历拉伸、冲洗、浸泡等外部作用后，依然保持优异的黏附性，展现出卓越的稳定性与实用潜力。

      研究成果为微生物传感、仿生器件和活体微型机器人等领域提供了新的技术路径，展现了微纳制造技术与生物科学交叉融合的巨大潜力。

原文链接：https://pubs.acs.org/doi/10.1021/acs.nanolett.5c00378