最近，西湖大学仇旻教授团队与浙江大学甘智华教授团队成功将Gifford-McMahon制冷机集成到冰刻系统中，替代了传统的液氮杜瓦设计。这一创新使得样品台的最低温度达到了19.14 K，成功将冰刻系统的工作温度扩展至液氢温区。

       在冰刻系统中，温度是一个关键参数，直接影响前驱体的选择和质量。传统的制冷系统采用液氮制冷，其理论最低温度为77 K，仍无法满足某些前驱体的结冰要求，如二氧化碳。而在全新的制冷系统中，研究团队成功使用二氧化碳作为前驱体进行实验，完成了后续的金属镀膜和剥离操作，从而实现了微纳米结构的精密加工。此外，研究团队还设计并集成了包括气隙隔振系统在内的多个部件，显著减少了制冷机运行时引入的机械振动，最终使得振动幅值控制在约30 nm以内。

       该研究成果已发表在期刊IEEE Transactions on Instrumentation and Measurement上，题为Liquid Hydrogen Temperature Cryostage for Ice-Assisted Electron-Beam Lithography，第一作者为仇旻教授团队博士研究生郑睿。

文章链接：https://ieeexplore.ieee.org/document/10739984